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相對濕度和露點
相對濕度和露點
相對濕度
相對濕度（%RH）用于描述存在于空氣和水的氣體混合物內的水蒸氣含量。它是指空氣中實際含有的水蒸氣量與當時溫度下飽和水蒸氣量的百分比。在生產現場出現的問題，例如材料的膨脹和收縮、硬化和軟化、液體的粘度變化、微生物的繁殖、靜電增加、腐蝕和生銹等很大程度上都受到濕度的影響。

露點
露點（Td）是指露水或冷凝水在冷卻氣體上形成時的溫度。露點溫度用于描述氣體（例如空氣）中非常微小的水分含量。半導體在微機械加工過程中，由于水分子被認為是污染物，因此其加工環境極其干燥。在這種情況下，相對濕度幾乎保持在0%RH，但是露點溫度對于被測氣體的水分含量變化而言仍然非常敏感。

濕度和露點傳感器技術
用于測量空氣中水分含量的濕度傳感器大致可分為兩種類型。一種用于測量濕度，另一種則用于測量露點。在濕度水平高于10%RH的空氣中通常需要進行濕度測定，在低濕度的環境下，則傾向于測量露點。在某些高濕條件下，采用露點測量會更方便。

濕度和露點傳感器包括：
1. 干濕球濕度計
2. 機械濕度計
3. 氯化鋰露點儀
4. 電阻型濕度計
5. 電容型濕度計（結露儀）
6. 鏡面露點儀

測量濕度和露點儀器設備包括：
1.濕度記錄儀
2.溫濕度記錄儀
3.露點儀
4.露點記錄儀
5.溫濕度露點記錄儀
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